媒体报道 ，逐渐被 被 从上海市 复工复产的快速推进  ，东方晶源积极参与组织设备交付其它工作  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和很关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付从上海市 客户多。该次出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机国内市场知名晶圆代工厂后  ，之后得不到头部客户多的青睐和得不到。除此之外 ，标志着东方晶源硬件新产品进人批量交付两种模式。

该次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515 ，面向300mm硅片工艺制程  ，除有着该系列新产品惯大多高灵敏度电性和物理缺陷检测、最有效核心难题28nm及以内良率核心难题、自主创新的发展高性能缺陷检测引擎（DNA数据情况库）、两个基础深度来学习的缺陷自动分类（ADC）算法等新产品特点外 ，东方晶源研发工作团队我还在上一代新产品的两个基础上优化优化升级 ，使SEpA-i515有着更高的TPT和更优的品台设计理念  ，设备运行效率、性能指标均有大幅大幅提升。更让人更让人  ，上一代新产品SEpA-i505 虽然在国内市场头部晶圆代工厂量产一一整年 ，新产品性能及稳定性得不到充分验证。

另一台交付新的发展产品为很关键尺寸量测设备  ，型号为SEpA-c410  ，面向300mm硅片工艺制程  ，使用先进的电子束成像运行系统和高速硅片传输方案  ，配搭精准的量测算法 ，可得以实现高重复精度、高分辨率及高产能的很关键尺寸量测。该设备自今年6月底进人国内市场头部晶圆代工厂五年来产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果得不到客户多得不到。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的国家中科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化其他项目 ，经多数年攻坚克难 ，突破多项核心很关键各种技术  ，从零部件到整机设计理念制造  ，均有着基本自主知识产权  ，填补国内市场空白。现阶段 ，两款设备进人批量交付两种模式 ，产业化进程成就 丰硕成果。

该次设备交付的客户多所在旁边海我在国集成电路产业有着举足轻重的地位  ，现阶段虽然更成国内市场集成电路产业综合基础水平高、产业链完整、产业生态内部环境真正好集聚地更成。东方晶源更为看重从上海市 市 的加速发展和布局  ，继计算光刻软件工具（OPC）进人从上海市 头部晶圆代工企业所后  ，硬件新产品正式正式宣布登陆从上海市 。为提供完整很好的服务提供以内海为核心的长三角客户多  ，东方晶源正式宣布今年8月份从上海市 市 设立子该公司 ，形成运行系统 从上海市 总部、从上海市 子该公司和从上海市 子该公司为核心的三地布局  ，有待企业所贴近产业前沿高地 ，为集成电路企业所所带去优质新的发展产品和服务提供  ，提供完整很好的与上下游企业所携手有待产业加速发展的除此之外  ，构筑企业所进而 竞争壁垒。

东方晶源自挂牌成立 五年来  ，专注于芯片制造很关键环节的良率整体控制和大幅提升三大领域 ，形成运行系统 以计算光刻软件工具（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心新的发展产品矩阵  ，并向提供完整很好其它相关三大领域 积极布局。硬件各种各种技术  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发其它工作 ，有待夯还真国内市场电子束检测三大领域 领先的整体市场地位和核心各种技术天然优势。软件工具各种各种技术 ，光刻工艺严格仿真软件工具PanSim虽然在客户多侧使用验证  ，或将 7月底release V1.0版本。相信未来  ，东方晶源将立足通用软件工具品台和检测装备两大三大领域  ，寻求横纵向加速发展机遇  ，为客户多提供完整更为多样化新的发展产品 ，向着国内市场集成电路三大领域 良率管理领导者的具体目标奋进。